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Der Wasserdampfdiffusionswiderstand gibt an, in welchem Maß ein Stoff die Diffusion von Wasserdampf behindert. Sie wird in der Wasserdampfdiffusionswiderstandzahl mit dem Symbol µ angegeben. Der Wert beschreibt, um welchen Faktor der Prüfstoff dichter ist als eine gleich dicke Luftschicht. Je größer der Wert der Wasserdampfdiffusionswiderstandzahl umso dichter ist der Baustoff. Der Wasserdampfdiffusionswiderstand ist eine wichtige Größe im Bauwesen, um einen bauphysikalisch korrekten Aufbau der einzelnen Bauschichten sicher zustellen. So ist in der Regel an der Stelle des größten Dampfdrucks im Schichtaufbau eine sogenannte Dampfsperre erforderlich, um zu verhindern, dass Feuchtigkeit in Form von Dampf in die Baustoffe eindringen kann. Diese Dampfsperre besteht aus Stoffen mit hohem Wasserdampfdiffusionswiderstand (zum Beispiel Kunststofffolien oder Aluminiumfolie).
Auf der Seite des niedrigsten Dampfdruckes hingegen wird üblicherweise ein möglichst niedriger Wasserdampfdiffusionswiderstand angestrebt, um eventuell eingedrungene Feuchtigkeit wieder leicht aus dem Baustoff heraus zu lassen.
Diese "gesteuerte" Dampfdiffusion ist wichtig, um die schrittweise Durchfeuchtung eines Baustoffes zu verhindern, der andernfalls seine dämmende Eigenschaft verlieren würde und - unter Umständen - sogar schimmeln könnte.
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